產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱(chēng):日立落地式掃描電子顯微鏡SU3800/SU3900

        • 產(chǎn)品型號(hào):
        • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:日立(Hitachi)
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        簡(jiǎn)單介紹:
        日立落地式掃描電子顯微鏡SU3800/SU3900是可配置二次電子探測(cè)器、背散射電子探測(cè)器、元素分析能譜(EDS)探測(cè)器的進(jìn)口鎢燈絲掃描電鏡。SU3900標(biāo)配多功能大樣品倉(cāng),可滿(mǎn)足更多應(yīng)用需求。
        詳情介紹:
        日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性,結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能,可發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能大樣品倉(cāng),可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。
        日立掃描電鏡_SU3800/SU3900落地式掃描電子顯微鏡特點(diǎn):
        ①SU3900標(biāo)配多功能大樣品倉(cāng),可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察
        ■樣品臺(tái)可搭載大/重樣品
        通過(guò)更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
        選配樣品交換倉(cāng),可在主樣品倉(cāng)保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率
        具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
        紅外CCD探測(cè)器,提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的性
        ■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持大樣品的全視野觀察
        與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉(cāng)室導(dǎo)航相機(jī)
        覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
        支持360度旋轉(zhuǎn)
        ②隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
        ■一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI
        ■各種自動(dòng)化功能
        自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
        提高了自動(dòng)聚焦精度
        搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
        ■Multi Zigzag,可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
        ■Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
        ③可提供滿(mǎn)足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案
        ■可滿(mǎn)足多種觀察需求的探測(cè)器
        搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察
        高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器,切換成分/凹凸等多種圖像
        ■配備了多功能大樣品倉(cāng),可以搭載多種配件
        ■SEM/EDS一體化功能*
        ■三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*
        ■支持圖像測(cè)量軟件Image pro

        *選配件

        日立掃描電鏡_SU3800/SU3900落地式掃描電子顯微鏡規(guī)格:

        ITEM

        SU3800

        SU3900

        二級(jí)電子分解能

        3.0nm(加速電壓30kVWD=5mm、高真空模式)

        15.0nm(加速電壓1kVWD=5mm、高真空模式)

        背散射電子分解能

        4.0nm(加速電壓30kVWD=5mm、低真空模式)

        倍率

        ×5×300,000(照片倍率*1

        ×7×800,000(實(shí)際顯示倍率*2

        加速電壓

        0.3kV30kV

        低真空度設(shè)定

        6650 Pa

        圖像位移

        ±50μmWD10mm

        大樣品尺寸

        200mm直徑

        300mm直徑

        樣品臺(tái)

        X

        0100mm

        0150mm

        Y

        050mm

        0150mm

        Z

        565mm

        585mm

        R

        360°連續(xù)

        T

        20°+90°

        大可觀察范圍

        130mm直徑(R并用)

        200mm直徑(R并用)

        大可觀察高度

        80mmWD=10mm

        130mmWD=10mm

        電機(jī)驅(qū)動(dòng)

        5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)

        電子光學(xué)系統(tǒng)

        電子槍

        預(yù)對(duì)中鎢燈絲電子槍

        物像鏡頭光圈

        4孔可動(dòng)光圈

        檢測(cè)系統(tǒng)

        二級(jí)電子檢測(cè)器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器

        EDX分析WD

        WD10mmT.O.A35°

        圖像顯示

        自動(dòng)光軸調(diào)整功能

        自動(dòng)光束調(diào)整(AFS→ABA→AFC→ABCC

        自動(dòng)光軸調(diào)整(實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊)

        自動(dòng)調(diào)整光束亮度

        自動(dòng)圖像調(diào)整功能

        自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制(ABCC

        自動(dòng)對(duì)焦控制(AFC

        自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能(ASF

        自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整(AFS

        自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)(ABA

        自動(dòng)啟動(dòng)(HV-ON→ABCC→AFC

        操作輔助功能

        電子束旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入(點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量、角度測(cè)量、文本)、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能(SEM MAP)、光束標(biāo)記功能

        配件

        硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測(cè)器(UVD)、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成

        配件(外部裝置)

        能量散射X射線(xiàn)分析儀(EDS)、波長(zhǎng)色散X射線(xiàn)分析儀(WDS)、
        各種外部功能臺(tái)(加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、牽引臺(tái))

        *1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm4x5照片尺寸)的顯示尺寸。

        *2.指定放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm1,920 x 1,080像素)的顯示尺寸。

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