產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡

        • 產(chǎn)品型號(hào):MX63/MX63L
        • 產(chǎn)品廠商:奧林巴斯(Olympus)
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        簡(jiǎn)單介紹:
        上海鑄金分析儀器有限公司可提供“半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡”相關(guān)方案。本頁面介紹的是奧林巴斯檢測(cè)顯微鏡MX63/MX63L系列參考圖片、技術(shù)規(guī)格等信息。奧林巴斯MX顯微鏡的設(shè)計(jì)理念是為客戶提供更高的操作效率。MX顯微鏡為用戶**了四個(gè)等級(jí)的:快速入門、簡(jiǎn)易操作、失敗分析和擴(kuò)展功能。
        詳情介紹:

        奧林巴斯(Olympus)半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡MX63/MX63L:

        讓您的大尺寸樣品檢測(cè)流程更加順暢

        MX63MX63L顯微鏡系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化,適用于Z大尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的***檢測(cè)。其采用的模塊化設(shè)計(jì)使您能夠選擇需要的組件,獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。

        這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時(shí),保持檢測(cè)員的工作舒適性。與PRECiV圖像分析軟件結(jié)合使用時(shí),可以簡(jiǎn)化從觀察到報(bào)告創(chuàng)建的整個(gè)工作流程。

        多功能

        設(shè)計(jì)滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和**性要求,并以更多功能提高分析能力。

        人性化

        簡(jiǎn)化的顯微鏡設(shè)置使用戶可以更輕松地進(jìn)行系統(tǒng)設(shè)置的調(diào)整和重現(xiàn)。

        成像技術(shù)

        成熟可靠的光學(xué)器件和成像技術(shù)可提供清晰的圖像和可靠的檢測(cè)。

        模塊化

        用戶可以使用適合其應(yīng)用的組件進(jìn)行系統(tǒng)定制。

        應(yīng)用圖像庫

        圖像管理功能可為您呈現(xiàn)您真正想要觀察的內(nèi)容。

        MX63系列旨在使客戶能夠選擇各種光學(xué)組件,以滿足其特定的檢測(cè)和應(yīng)用需求。該系統(tǒng)可使用所有觀察方法。用戶還可以從各種PRECiV圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇,以滿足其特定的圖像采集和分析需求。

        兩個(gè)系統(tǒng)兼容多種樣品規(guī)格

        MX63系統(tǒng)可處理尺寸達(dá)200 mm的晶圓,而MX63L系統(tǒng)可以處理尺寸達(dá)300 mm的晶圓,但占地面積卻與MX63系統(tǒng)一樣小。模塊化設(shè)計(jì)便于您根據(jù)自身的特定需求定制顯微鏡。

        紅外兼容性

        紅外觀察可以使用紅外物鏡進(jìn)行,該物鏡利用硅透射紅外光的特性,使操作員能夠?qū)Ψ庋b和安裝在印刷電路板上的集成電路芯片內(nèi)部進(jìn)行無損檢測(cè)。5倍至100倍紅外物鏡可實(shí)現(xiàn)從可見光波長(zhǎng)到近紅外波長(zhǎng)的色差校正。特別是對(duì)于20倍或更高倍率的物鏡,可通過校正環(huán)對(duì)覆蓋在觀察對(duì)象上的硅層引起的像差進(jìn)行校正,從而獲得清晰的圖像。

        奧林巴斯(Olympus)半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡MX63/MX63L技術(shù)規(guī)格:

        MX63

        MX63L

        光學(xué)系統(tǒng)

        UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正系統(tǒng))

        顯微鏡鏡架

        反射光照明

        白光LED(帶光強(qiáng)度管理器)12 V 100 W鹵素?zé)簦?/span>100W汞燈,光導(dǎo)
        明場(chǎng)/暗場(chǎng)/反射鏡分光鏡組件手動(dòng)切換。(反射鏡分光鏡組件為選配件。)
        通過手動(dòng)操作調(diào)整3位編碼分光鏡組件
        內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌(針對(duì)所有物鏡預(yù)設(shè),暗場(chǎng)自動(dòng)完全打開)
        觀察模式:明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉對(duì)比度(DIC*1、簡(jiǎn)易偏振光*1、熒光*1、紅外和MIX觀察(4個(gè)定向暗場(chǎng))*2
        *1
        選配分光鏡組件,*2 需使用MIX觀察配置

        透射光照明

        透射光照明裝置:需使用MX-TILAMX-TILLB
        - MX-TILLA
        :聚光鏡(數(shù)值孔徑 0.5)和孔徑光闌
        - MX-TILLB
        :聚光鏡(數(shù)值孔徑 0.6)、孔徑光闌和視場(chǎng)光闌
        光源:LG-LSLEDLED光源)光導(dǎo):LG-SF
        觀察模式:明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏振光

        對(duì)焦

        行程:32 mm
        每轉(zhuǎn)行程微調(diào):100 μm
        Z
        小分度:1 μm
        配上限限位器和粗調(diào)手柄扭矩調(diào)節(jié)

        Z大載荷重量(包括載物臺(tái)和支架)

        8 kg

        15 kg

        觀察筒

        寬視場(chǎng)(FN 22 mm

        正像三目鏡筒:U-ETR4
        正像可調(diào)傾角三目鏡筒:U-TTR-2
        倒像三目鏡筒:U-TR30-2、U-TR30IR(用于紅外觀察)
        倒置雙目鏡筒:U-BI30-2
        倒像可調(diào)傾角雙目鏡筒:U-TBI30

        *寬視場(chǎng)(FN 26.5 mm

        正像可調(diào)傾角三目鏡筒:MX-SWETTR(光程切換**** [目鏡]0 [相機(jī)] 0****
        正像可調(diào)傾角三目鏡筒:U-SWETTR(光程切換**** [目鏡]0 [相機(jī)] 20%80%
        倒像三目鏡筒:U-SWTR-3

        電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器

        明場(chǎng)
        DIC插槽的電動(dòng)六孔:U-D6REMC
        DIC插槽的電動(dòng)中心補(bǔ)正五孔:U-P5REMC

        明場(chǎng)和暗場(chǎng)
        DIC插槽的電動(dòng)六孔:U-D6BDREMC
        DIC插槽的電動(dòng)五孔:U-D5BDREMC
        DIC插槽的電動(dòng)中心補(bǔ)正五孔:U-P5BDREMC
        帶真空裝置的電動(dòng)版:U-D5BDREMC-VA

        載物臺(tái)(X x Y

        帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC8R
        行程:210 x 210 mm
        透射光照明區(qū)域:189 x 189 mm

        帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC6R2
        行程:158 x 158 mm
        (僅適用于反射光)

        帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC1412R2
        行程:356 x 305 mm
        透射光照明區(qū)域:356 x 284 mm

        重量

        35.6kg(顯微鏡鏡架26kg

        44kg(顯微鏡鏡架28.5kg

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