產(chǎn)品名稱：半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡

MX63

MX63L

光學(xué)系統(tǒng)

UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正系統(tǒng)）

顯微鏡鏡架

反射光照明

白光LED（帶光強(qiáng)度管理器）12 V 100 W鹵素?zé)簦?/span>100W汞燈，光導(dǎo)
明場(chǎng)/暗場(chǎng)/反射鏡分光鏡組件手動(dòng)切換。（反射鏡分光鏡組件為選配件。）
通過手動(dòng)操作調(diào)整3位編碼分光鏡組件
內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌（針對(duì)所有物鏡預(yù)設(shè)，暗場(chǎng)自動(dòng)完全打開）
觀察模式：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉對(duì)比度（DIC）*1、簡(jiǎn)易偏振光*1、熒光*1、紅外和MIX觀察（4個(gè)定向暗場(chǎng)）*2
*1 選配分光鏡組件，*2 需使用MIX觀察配置

透射光照明

透射光照明裝置：需使用MX-TILA或MX-TILLB。
- MX-TILLA：聚光鏡（數(shù)值孔徑 0.5）和孔徑光闌
- MX-TILLB：聚光鏡（數(shù)值孔徑 0.6）、孔徑光闌和視場(chǎng)光闌
光源：LG-LSLED（LED光源）光導(dǎo)：LG-SF
觀察模式：明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏振光

對(duì)焦

行程：32 mm
每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100 μm
Z小分度：1 μm
配上限限位器和粗調(diào)手柄扭矩調(diào)節(jié)

Z大載荷重量（包括載物臺(tái)和支架）

8 kg

15 kg

觀察筒

寬視場(chǎng)（FN 22 mm）

正像三目鏡筒：U-ETR4
正像可調(diào)傾角三目鏡筒：U-TTR-2
倒像三目鏡筒：U-TR30-2、U-TR30IR（用于紅外觀察）
倒置雙目鏡筒：U-BI30-2
倒像可調(diào)傾角雙目鏡筒：U-TBI30

*寬視場(chǎng)（FN 26.5 mm）

正像可調(diào)傾角三目鏡筒：MX-SWETTR（光程切換**** [目鏡]：0 [相機(jī)] 或0：****）
正像可調(diào)傾角三目鏡筒：U-SWETTR（光程切換**** [目鏡]：0 [相機(jī)] 或20%：80%）
倒像三目鏡筒：U-SWTR-3

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器

明場(chǎng)
帶DIC插槽的電動(dòng)六孔：U-D6REMC
帶DIC插槽的電動(dòng)中心補(bǔ)正五孔：U-P5REMC

明場(chǎng)和暗場(chǎng)
帶DIC插槽的電動(dòng)六孔：U-D6BDREMC
帶DIC插槽的電動(dòng)五孔：U-D5BDREMC
帶DIC插槽的電動(dòng)中心補(bǔ)正五孔：U-P5BDREMC
帶真空裝置的電動(dòng)版：U-D5BDREMC-VA

載物臺(tái)（X x Y）

帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC8R
行程：210 x 210 mm
透射光照明區(qū)域：189 x 189 mm

帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC6R2
行程：158 x 158 mm
（僅適用于反射光）

帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC1412R2
行程：356 x 305 mm
透射光照明區(qū)域：356 x 284 mm

重量

約35.6kg（顯微鏡鏡架26kg）

約44kg（顯微鏡鏡架28.5kg）